Çok katmanlı optik kaplama makinesinin teknik parametrelerinin listesi

Model

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Kaplama Odası Boyutu

1050 * 1250304 Paslanmaz çelik.

800 * 1000

900 * 1050

1200 * 1250

Kaplamalı boşluk boyutu

İnsan mühendisliğinin çalışması için uygun olan 1680mm yerden fikstür desteği.

İnsan mühendisliğinin işletilmesi için uygun olan 1468mm yerden fikstür desteği.

İnsan mühendisliğinin işletilmesi için uygun olan 1510mm yerden fikstür desteği.

1 kemer tipi tek iş parçası, müşterilerin tekdüzelik için ihtiyaçlarını karşılamak için daha fazla. 5-30R/dk dönen, adımsız hız değişimi.

2 Kemer Tip Üç İş Parçası Plakası, Gezegenin Rotasyonu, müşterilerin prodüksiyondaki ihtiyaçlarını karşılamak için daha fazla. 5-30R/dk dönen, adımsız hız değişimi.

Takım fikstürü

Dört parça için, braket açısı müşteri ihtiyaçlarını karşılamak için daha fazla ayarlanabilir. 5-30R/dk dönen, adımsız hız değişimi.

Kemer tipi tek iş parçası, müşterilerin tekdüzelik için ihtiyaçlarını karşılamak için daha fazla. 5-30R/dk dönen, adımsız hız değişimi.

Kemer tipi tek iş parçası, müşterilerin tekdüzelik için ihtiyaçlarını karşılamak için daha fazla. 5-30R/dk dönen, adımsız hız değişimi.

vakum sistemi

Birim: Difüzyon Pompası DIP-12000 (LAI BAO), ZJY-300 2X-70 Kök Pompası, Mekanik Pompa, Pompa Bakımı 2x-8. 304 paslanmaz çelik için boru.

Birim: Difüzyon Pompası KT-400 (Zhen Hua), ZJY-150 2X-70 Kök Pompası, Mekanik Pompa, Pompa Bakımı 2x-8.

Birim: Difüzyon Pompası KT-600 (Zhen Hua), ZJY-600 2X-70 Kök Pompası, Mekanik Pompa, Pompa Bakımı 2x-8.

Birim: Difüzyon Pompası KT-800 (Zhen Hua), ZJY-600 2X-70 Kök Pompası, Mekanik Pompa, Pompa Bakımı 2x-8.

Nihai vakum: 4 x pa 10-4'ten daha iyi.

Türbülans anti ekipmanının yapılandırması, güvenlik kilitleme tasarımı, manuel, otomatik isteğe bağlı.

Isıtma sistemi

Isıtma modunda ısıtma borusu, PID kontrolü, en yüksek 350 C + 1.5.

Gaz enflasyonu

Gaz kütlesi akış kontrol cihazı veya manuel ince ayar şarj vanası.

Vakum iyonizasyon bombardımanı

DC 3KV, 06kW çubuk katot (iş parçasının kendi kendini temizlemeden önce kaplama için).

Buharlaşma kaynağı (isteğe bağlı)

1 Telemark-270 Elektron Tabancası (İthalat), 6KW, Yüksek Basınçlı 4kv-10kV ayarlanabilir. Tarama, tarama, dairesel tarama ve spiral tarama. Işın noktasının odağı iyidir, konumlandırma doğruluğu yüksektir ve tekrarlanabilirlik iyidir.

2 Yurtiçi Elektron Tabancası (Zhen Hua): 6kW, yüksek basınç 4 kV ~ 8kV ayarlanabilir, üçgen dalgası, sinüs dalgası, kare dalga taraması serbestçe seçebilir.

3: Altı delikli pota phi 38 * 20 veya dört delikli pota phi 38 * 20 artı 87 puanlık bir merkez ark yaçası (büyük miktarda düşük erime noktası buharlaşma malzemeleri için) veya 48 x 18 potansiyel olarak dört nokta.

İyon kaynağı (isteğe bağlı)

1 RF (radyo frekansı) iyon kaynağı (içe aktarma).

2 5KVA Holzer iyon kaynağı (Zhen Huachan), kaplamaya yardımcı olmak için temizleme veya kaplama işleminden önce elektroplasyon için kullanılan, film kırılma indisini, sıkılığını, film yoğunluğunu, yapışmayı iyileştirmek için elverişlidir.

Film Kalınlık Kontrol Sistemi (Seçim)

1.MDC-360 Kristal Kontrol Cihazı (İçe Aktar) 1 ~ 99 katman otomatik kaplama işlemi, 99 çeşit program verisi, hassas%0.5+1 sabit hata saklayabilir. 2Telemark-880 Kristal Kontrol Cihazı (İthalat): 1 ila 99 katman otomatik kaplama işlemi, 99 çeşit program verisi olabilir. Hassasiyet%0.5+1 Sabit hata.

3.Telemark-820 Fotokontrolör (İthalat): Filmin sonunu belirlemek için 370-870 mm (veya yansıtma) eğri analizinin izlenmesi yoluyla çok dalga boyu analiz teknolojisi kullanılarak tam spektrum ucu. Kontrol hassasiyeti yüksektir ve tek dalga uzunluğu kontrolü, otomatik kontrol ve manuel kontrol kullanılabilir. Ek Macileod Membran Sistemi Hesaplama Yazılımı, Yüksek Derece Entegrasyon.

4.Telemark-820 Telemark-880 kontrolörlü ışık kontrolörü, kristal filmi yüksek doğruluk ve yüksek tekrarlanabilirlik gereksinimleriyle karşılayabilir. Ana bilgisayar ile otomatik kontrol gerçekleştirebilir.

5 yurtiçi foto denetleyici (monokromatör dalga boyunu 330 ~ 870 vb. Destekleyen Tip 9704 gibi) ayarlanabilir, hassasiyet 1.5nm'ye ulaşabilir.

Elle çalışan cihaz

Manyetik taban ile, vakum oda kapısına yerleştirilebilir ve kontrol kabinine keyfi konuma getirilebilir.